加速電壓:0.5~30kV,0.1kV/步分辨率:1.0nm(30kV)放大倍率:×20-×800,000電子槍:場發(fā)射電子源物鏡光闌:可加熱自清潔式探測器:高位和低位二次電子探頭,可接受二次電子和背散射電子成像樣品室和樣品臺:樣品臺3軸馬達驅(qū)動;移動范圍:X:0~50mm;Y:0~50mm; Z: 1.5~30mm;T:-5~70°; R:360°X射線能譜儀:分辨率/有效面積不低于137eV,20mm2;具有點分析、線分析、面分析功能
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