S-4300掃描電鏡利用電子束與物質(zhì)相互作用產(chǎn)生的各種信號進(jìn)行成像,對樣品進(jìn)行形貌和成份分析。主要技術(shù)指標(biāo):電子槍和高壓:冷場發(fā)射槍,加速電壓0.5-30kV。分辨率:二次電子分辨率:1.5nm(15kV),3.0nm(1kV);背散射電子分辨率:3.0nm(15kV)。能譜:可鑒定的元素成分: Be-U;分辨率:127eV。
功能用途:利用二次電子圖象、背散射電子圖象,可進(jìn)行生物、化學(xué)、礦物、半導(dǎo)體、納米材料等金相樣品、斷口樣品的表面形貌觀察。利用能譜儀進(jìn)行微區(qū)成分分析。
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