JSM-7001F熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡(Thermal Field Emission SEM),是能夠滿足與高分辨率和易用性同樣的分析應(yīng)用需求的理想平臺(tái)。JSM-7001F具有大型、5軸、全對中馬達(dá)驅(qū)動(dòng)自動(dòng)化樣品臺(tái),還有單動(dòng)作樣品更換氣鎖、它的小束口壓直徑,即使在大電流和低電壓時(shí),也具有適用于EDS、WDS、EBSP和CL的理想結(jié)構(gòu)的擴(kuò)充性。樣品室可處理直徑最大為 200mm的樣品。
低真空模式規(guī)格
樣品室壓力:最大50 Pa
分辨率:3.0nm(30kV)(BEI)
槍室壓力:5 x 10-7 Pa或更小
采用的氣體:干燥氮?dú)?/p>
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