Thermo Scientific? Helios? NanoLab 1200AT DualBeam? 可以創(chuàng)建足夠薄的位點(diǎn)特異性透射電子顯微鏡 (TEM) 樣品,以從直徑達(dá) 300 mm 的晶片中在 10 nm 節(jié)點(diǎn)處捕獲單個(gè)晶體管?？蛇x的自動(dòng) FOUP 裝載器 (AFL) 允許系統(tǒng)位于半導(dǎo)體晶片制造廠內(nèi)部。
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