DEKTAK150表面輪廓儀資料:
Dektak150臺(tái)階儀由德國維易科公司(Veeco)制造,主要用于薄膜厚度,表面形貌,應(yīng)力,平整度等精密測(cè)量,廣發(fā)應(yīng)用于光學(xué),太陽能,半導(dǎo)體,生命科學(xué),材料科學(xué)等領(lǐng)域。測(cè)量時(shí)利用金剛石探針在樣品表面運(yùn)動(dòng),記錄探針垂直位移,經(jīng)過一系列信號(hào)轉(zhuǎn)換及處理,最終以表面輪廓線形式表現(xiàn),從而達(dá)到測(cè)量樣品表面臺(tái)階高度,粗糙度等物理參數(shù)的目的。
主要參數(shù):探針直徑為2.5 μm,探針壓力為3 mg,測(cè)量范圍是10~66500 nm,垂直方向精度為0.1 nm。
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