二手日本光馳OTFC-1550紅外截止濾光片專用鍍膜機(jī)/分色濾光片光學(xué)鍍膜機(jī)介紹
OTFC系列是用于生產(chǎn)紅外截止濾光片、分色濾光片等成膜的真空鍍膜裝置。
真空室尺寸:Φ600-1800mm
60點(diǎn)/80點(diǎn)式光學(xué)膜厚監(jiān)控
使用均勻分布的高離子電流密度的離子源
搭載雙電子,多點(diǎn)和環(huán)型坩堝可鍍100層以上
利用自動(dòng)蒸鍍控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)蒸鍍過程
工件架可選擇鐘罩式或行星式
排氣系統(tǒng)可選擇擴(kuò)散泵+低溫冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵
規(guī)格
設(shè)備名稱 OTFC-1550CBI/DBI
真空室 SUS304, φ1550mm×1800mm (H)
工件架 φ1400mm
工件架轉(zhuǎn)速 10rpm to 30rpm(可變)
光學(xué)膜厚控制 HOM2-R-VIS350A光學(xué)膜厚監(jiān)控儀
波長(zhǎng)范圍:350nm to 1100nm
反射式/透射式
水晶式膜厚計(jì) XTC/3+6點(diǎn)式水晶傳感器
蒸發(fā)源 電子2套
離子源 17cmRF離子源
排氣系統(tǒng) 機(jī)械泵+2個(gè)擴(kuò)散泵+Polycold(或2個(gè)冷凝泵)
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