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KLA-Tencor 7600光學(xué)檢測系統(tǒng)是一種用于半導(dǎo)體制造過程中的光學(xué)檢測工具。它基于先進(jìn)的光學(xué)技術(shù),可以對半導(dǎo)體芯片表面進(jìn)行非接觸式、高分辨率的檢測和分析,以確保產(chǎn)品質(zhì)量和工藝控制的精度。下面是KLA-Tencor 7600光學(xué)檢測系統(tǒng)的一些主要技術(shù)參數(shù)和特點(diǎn):分辨率:KLA-Tencor 7…
廣東 - 珠海 2023-08-11