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KLA-Tencor 7600光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)是一種用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中的光學(xué)檢測(cè)工具。它基于先進(jìn)的光學(xué)技術(shù),可以對(duì)半導(dǎo)體芯片表面進(jìn)行非接觸式、高分辨率的檢測(cè)和分析,以確保產(chǎn)品質(zhì)量和工藝控制的精度。下面是KLA-Tencor 7600光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)的一些主要技術(shù)參數(shù)和特點(diǎn):分辨率:KLA-Tencor 7…
技術(shù)參數(shù):分辨率:7500光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)具有高分辨率的圖像采集能力,能夠捕捉到微觀級(jí)別的表面缺陷。檢測(cè)速度:7500采用高速掃描系統(tǒng)和實(shí)時(shí)信號(hào)處理,可以在短時(shí)間內(nèi)完成大面積的表面缺陷檢測(cè)。檢測(cè)靈敏度:7500能夠檢測(cè)到非常小的表面缺陷,包括凹坑、裂紋、劃痕等,確保缺陷的及時(shí)發(fā)現(xiàn)和修復(fù)。自動(dòng)化功能:75…