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KLA-Tencor 7600光學檢測系統(tǒng)是一種用于半導體制造過程中的光學檢測工具。它基于先進的光學技術(shù),可以對半導體芯片表面進行非接觸式、高分辨率的檢測和分析,以確保產(chǎn)品質(zhì)量和工藝控制的精度。下面是KLA-Tencor 7600光學檢測系統(tǒng)的一些主要技術(shù)參數(shù)和特點:分辨率:KLA-Tencor 7…
技術(shù)參數(shù):分辨率:7500光學檢測系統(tǒng)具有高分辨率的圖像采集能力,能夠捕捉到微觀級別的表面缺陷。檢測速度:7500采用高速掃描系統(tǒng)和實時信號處理,可以在短時間內(nèi)完成大面積的表面缺陷檢測。檢測靈敏度:7500能夠檢測到非常小的表面缺陷,包括凹坑、裂紋、劃痕等,確保缺陷的及時發(fā)現(xiàn)和修復。自動化功能:75…