·特征
臺階高度:納米級到1000微米
恒力控制:0.03至15mg
無需拼接即可掃描樣品的全直徑
視頻:5MP高分辨率彩色相機(jī)
弧形校正:可消除探針的弧形運(yùn)動引起的誤差
軟件:簡單易用的軟件界面
生產(chǎn)能力:具有測序、圖形識別和SECS/GEM功能的全自動測量
應(yīng)用 臺階高度:2D和3D臺階高度
紋理:2D和3D粗糙度和波紋度
形狀:2D和3D翹曲形狀
應(yīng)力:2D和3D薄膜應(yīng)力
缺陷檢測:2D 和 3D 缺陷表面形貌
此貼長期有效，聯(lián)系我時，請說明是從處理網(wǎng)看到的。
