四個內(nèi)置高分辨率源/監(jiān)視器單元,2電壓源單元;雙電壓監(jiān)控器單元
開發(fā)新的工藝技術(shù)并評估材料,測量精度可達1 fA和0.2 uV
全開爾文;每個HRSMU的強制、感應和保護端子
執(zhí)行準靜態(tài)電容測量和電壓測量
自動提取過程參數(shù),無需手動操作屏幕標記
利用超低泄漏smu測量泄漏特性
利用集成的脈沖發(fā)生器和選擇器開關(guān)自動表征器件
利用內(nèi)置應力模式執(zhí)行片上可靠性測試
使用圖形用戶界面進行式測量
在Windows環(huán)境中提供圖形數(shù)據(jù)分析功能
旋鈕掃描功能驗證每個探針是否
待機模式無需外部電源
觸發(fā)模式允許同步交流/DC測量
IBASIC用戶函數(shù),允許繪制和分析所有數(shù)據(jù)
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