二手日本光馳OTFC1550紅外窄帶/光學(xué)鏡片鍍膜機-電鍍機-光學(xué)機介紹
光馳OTFC1550
真空室: SIS304, 中55018001
工件架:中14002
工件架轉(zhuǎn)速: 10rpm to 30rpm (可變)。
光學(xué)膜厚控制: H0I2- -R -VIS350A2
光學(xué)膜厚監(jiān)控儀:波長范圍: 350nm to 1100mm反射式
水晶式膜厚計: XTC/3+6 點式水晶傳感器
蒸發(fā)源:雙,傘個。
離子源: 17寸射頻源0
排氣系統(tǒng):機械泵1個,擴散泵Polycold 4 日本愛發(fā)科2401 + 12004
性能
電源: 3相200v, 50/ 60Hz,約120EVA
水流量: 180升/分以上。
重量:約10000
年份。2014/2015年。
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