泰勒?qǐng)A柱度儀Talyrond 400
最大直徑:450mm
最大承載重量:225KG
主軸回轉(zhuǎn)速度:0.6、1.0、2.0、6.0rpm
回轉(zhuǎn)精度:同心負(fù)荷時(shí)0.05μm+0.0003μm/mm
測(cè)量高度:1000mm
驅(qū)動(dòng)速度: 0.5mm/s(測(cè)量)、20mm/s (調(diào)整)直線度精度:1.0μm/1000mm、0.25μm/100mm
位置控制精度:±20μm
測(cè)定分解能:1μm
水平驅(qū)動(dòng)臂測(cè)量長(zhǎng)度:300mm
驅(qū)動(dòng)速度: 0.5mm/s(測(cè)量)、20mm/s (調(diào)整)直線度精度:1.25μm/300mm、0.25μm/100mm
位置控制精度:50μm
標(biāo)準(zhǔn)軸臂長(zhǎng)度:100mm
正常分辨率:±1.0mm、分解能:0.060 μm高分辨率:±0.2mm、分解能:0.012 μm
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